[发明专利]可调谐法布里-珀罗滤波器元件及其制造方法和光谱仪设备有效
| 申请号： | 202010049694.3 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111458780B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | T·考茨施 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技德累斯顿公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G01J3/26 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 黄倩 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本申请涉及可调谐法布里‑珀罗滤波器元件及其制造方法和光谱仪设备。根据一个实施例，可调谐法布里‑珀罗(FP)滤波器元件100包括：第一FP滤波器堆叠110，被布置在可移动的第一载体元件120处；以及第二FP滤波器堆叠115，以与第一FP滤波器堆叠110相对的配置被布置在第二载体元件125处，其中，在致动时，具有第一FP滤波器堆叠110的第一载体元件120相对于具有第二FP滤波器堆叠115的第二载体元件125可垂直地移动，用于调整相对的第一FP滤波器堆叠110和第二FP滤波器堆叠115之间的距离d |
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| 搜索关键词： | 调谐 法布里 滤波器 元件 及其 制造 方法 光谱仪 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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