[发明专利]一种陶瓷标定板基板的制造方法有效
申请号: | 202010050048.9 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111145273B | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 李珍;陈曦;李弋舟 | 申请(专利权)人: | 长沙韶光铬版有限公司 |
主分类号: | G06T7/80 | 分类号: | G06T7/80;G03F7/20 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强;胡凌云 |
地址: | 410129 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种陶瓷标定板基板的制造方法,包括如下步骤:提供陶瓷基板,抛光,洗净,备用;在陶瓷基板的至少1个表面镀一层金属薄膜,在所述金属薄膜的表面制作光刻胶层;对陶瓷基板依次进行曝光、显影、蚀刻、去胶处理后,将陶瓷基板置于20‑45℃的强碱溶液中浸泡1‑15min,清洗,干燥后,获得陶瓷标定板基板。本发明的陶瓷标定板基板的图案精度高,标定图案和陶瓷基板的颜色对比度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 标定 板基板 制造 方法 | ||
【主权项】:
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