[发明专利]一种微流道表面处理方法在审
申请号: | 202010050122.7 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111250180A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 孙道恒;张昆鹏;何功汉 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人: | 何家富 |
地址: | 361000 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种微流道表面处理方法,采用PDMS预聚物和交联剂的第一混合物稀释形成的PDMS溶液冲刷微流道在微流道的内表面形成PDMS覆盖层,并将微流道进行抽真空加热固化处理以固化PDMS覆盖层,通过有限次重复可使得PDMS填平微流道凹凸不平表面,降低微流道表面粗糙度。本发明解决了现有的溶剂蒸汽法对封闭型微流道难以进行表面处理以及不同微流道基底需要不同溶剂的材料选择性问题。同时本发明方法可应用于各种加工工艺、各种材料制造的微流道表面处理,特别针对低成本、低精度方法制造的表面粗糙度大的微流道,本表面处理方法能显著提高流道表面形貌特征;且PDMS的透明特性不影响微流控芯片的透光性,具有方法简单,有效,快速且经济的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 微流道 表面 处理 方法 | ||
【主权项】:
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