[发明专利]二苯乙炔自组装在金属单晶表面制备纳米材料层的方法有效
申请号: | 202010051352.5 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN113136548B | 公开(公告)日: | 2022-05-31 |
发明(设计)人: | 卢慧;鄂文龙;马志博;杨学明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | C23C14/12 | 分类号: | C23C14/12;C23C14/02 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 马驰 |
地址: | 116023 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明提拱了一种基于二苯乙炔分子自组装制备二维孔状纳米材料的方法。本发明的目的是为了在超高真空条件下,利用二苯乙炔分子自组装在单晶表面制备具有均匀孔状结构的二维纳米材料。本发明方法:步骤一:对金属单晶衬底进行氩离子溅射,然后退火,并重复溅射、退火的过程;步骤二:将步骤一处理好的金属单晶置于超高真空制备腔,加热至50℃‑53℃,然后将二苯乙炔分子在室温条件下沉积在金属单晶表面,沉积时间为3s‑5s,进行二维孔状纳米材料的制备,本发明方法工艺简单,并且可以得到孔状结构均匀的纳米材料。孔径大小为3.37nm‑3.46nm,孔壁厚度为0.7nm‑1.2nm,高度为115pm‑125pm,覆盖率可达到18%‑30%。 | ||
搜索关键词: | 乙炔 组装 金属 表面 制备 纳米 材料 方法 | ||
【主权项】:
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