[发明专利]一种efuse熔丝的版图结构在审
| 申请号： | 202010054792.6 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111223839A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 晏颖;金建明 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L23/367;H01L27/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种efuse熔丝的版图结构，至少包括：自下而上叠放的多个金属层，其中每两层金属层之间设有单个通孔；所述通孔在垂直方向上彼此投影完全重叠，并且与多个金属层构成串联结构，串联结构构成熔丝本体；位于最上层的金属层上设有与最上层通孔连接的焊盘；位于最下层的金属层上设有与最下层通孔连接的焊盘。本发明的efuse熔丝的版图结构将多层金属层之间的单个通孔串联起来构成一根熔丝本体，并在熔丝本体两端设置焊盘以形成有效散热面积，这种结构可以既减少efuse在平面上的版图面积，又可以获得较好的散热效果，保证熔断发生熔丝本体上，采用本发明的版图，每个efuse单元的熔丝结构可以减少约30％的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 efuse 版图 结构 | ||
【主权项】：
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