[发明专利]一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头在审
申请号: | 202010056785.X | 申请日: | 2020-01-19 |
公开(公告)号: | CN111123480A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 曾维友;王晴岚;徐利 | 申请(专利权)人: | 湖北汽车工业学院 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00;G02B13/14;G02B13/22 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人: | 杨采良 |
地址: | 442002 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明属于光学镜头技术领域,公开了一种紫外激光应用的远心F‑theta光学镜头,沿激光入射方向依次排列有第一、第二、第三、第四、第五、第六透镜,第一透镜和第四透镜为弯月型正透镜,曲面向着光线的入射方向弯曲;第二透镜和第三透镜为双凹型负透镜;第五透镜为平凸型正透镜;第六透镜为双凸型正透镜。该镜头的焦距为105mm,入瞳直径为9mm,入射光波长为355nm,视场角为ω,其为2ω=41°,加工区域为53mm*53mm。本发明的F‑theta光学镜头整体结构紧凑,聚焦光斑小,像散0.03mm,相对畸变0.05%,远心度0.1°,适用于某些要求超精细加工效果的切割或钻孔领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 紫外 激光 应用 theta 光学 镜头 | ||
【主权项】:
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