[发明专利]一种基于MEMS的可调光衰减器阵列在审
| 申请号： | 202010056833.5 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN113138443A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 贾春艳;肖鹏;宋智华;陈营营;华金娥 | 申请（专利权）人： | 福州高意通讯有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/26 | 分类号： | G02B6/26;G02B26/08 |
| 代理公司： | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于MEMS的可调光衰减器阵列，依序包括光纤阵列、微透镜阵列和基于MEMS的微型反射镜阵列，组成具有若干个光衰减单元的可调光衰减器阵列。本发明采用基于MEMS的微型反射镜来改变光束的传播方向，使光束产生错位耦合损耗，从而实现光衰减的目的，具有动态衰减范围大，偏振相关损耗和波长相关损耗低，重复性好以及响应时间短（毫秒量级）等优势。由于本发明采用阵列化的器件元件作为装配单元，阵列化的元件装配有益于实现批量调试，因此可自动化程度高，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 调光 衰减器 阵列 | ||
【主权项】：
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