[发明专利]一种获取套刻误差量测数据的方法及装置有效
| 申请号： | 202010057340.3 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111123662B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 马恩泽;韦亚一;张利斌;董立松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种获取套刻误差量测数据的方法及装置，包括：获取套刻误差的标记方式，根据标记方式确定套刻标记；基于套刻标记，确定线条上的量测区域，量测区域包括多组待量测区间，待量测区间的数量根据标记方式确定；针对每个量测区域，对多组待量测区间进行量测，获取对应的量测数据；基于预设的筛选标准，对量测数据进行筛选，获取符合筛选标准的量测数据；根据符合筛选标准的量测数据确定套刻误差的目标量测数据；如此，因待量测区域包括多个，即使在晶圆出现多个chuck spot或focus spot问题的情况下，本申请也可将不符合筛选标准的量测数据筛选掉，进而可以利用保留下的有效量测数据确定出最终的目标量测数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 获取 误差 数据 方法 装置 | ||
【主权项】：
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