[发明专利]一种宽波段自供电锑薄膜光电探测器

摘要

本发明公开了一种宽波段自供电锑薄膜光电探测器，由锑薄膜和银电极复合而成，所述锑薄膜是通过Sb粉气相沉积于衬底制得。本发明由通过Sb粉气相沉积于衬底制得的锑薄膜和银电极复合而成，锑薄膜质量高，连续性好，且制作工艺简单，省略了锑薄膜与基底材料的再复合工序，得到的光电探测器具备自供能特性和宽波段工作特性，且当所用衬底为柔性衬底时，得到的柔性光电探测器还具备优异的机械柔韧性。