[发明专利]用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法在审
| 申请号： | 202010060932.0 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111468820A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 郑昇桓;金硕焕;丁祥玄;金玗冬;金在一;丁一荣;韩种吉 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/046;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 郭磊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于激光加工的设备及用于补偿其误差的方法。该用于激光加工的设备包括支承衬底的台和生成误差补偿表的控制器、使台移动的电机驱动器和生成用于补偿误差的表的误差补偿单元。误差补偿单元包括：布置在台上的栅格板和对栅格板进行成像的成像单元。电机驱动器根据台的位置将位置同步信号输出到成像单元。成像单元从电机驱动器接收位置同步信号，并且在使台移动期间对栅格板进行成像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 加工 设备 补偿 误差 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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