[发明专利]金属薄膜的制备方法及金属薄膜结构

摘要

本申请公开了一种金属薄膜的制备方法及金属薄膜结构。该金属薄膜的制备方法包括：在晶片上形成粘附层，晶片位于腔室内；以及向腔室中通入第一前驱体和第二前驱体，以在粘附层的表面上形成金属薄膜，其中，在通入第一前驱体和第二前驱体之前，对粘附层的表面进行预处理，以提高表面的组分均一性，从而调整金属薄膜的反射率。该金属薄膜的制备方法通过对粘附层表面进行预处理，使得金属薄膜的反射率可控，有利于改善金属薄膜反射率的均匀性和一致性，从而有利于金属薄膜的工业化批量生产。