[发明专利]基于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器及系统在审

专利信息
申请号: 202010062311.6 申请日: 2020-01-20
公开(公告)号: CN111238713A 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 金华伏安光电科技有限公司
主分类号: G01L9/06 分类号: G01L9/06;G01L1/18;B82Y30/00;B82Y15/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 322200 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及于石墨烯薄膜和碳纳米管的压力传感器及系统,具体而言,设计压力测量领域。当压力作用于该受力板,受力板挤压该第一纳米管部,使得该第一纳米管部发生形变,使得该第一纳米管部与第一石墨烯层之间的接触面积改变,使得该第一石墨烯层和第二纳米管部之间的隧穿效应变化明显,进而改变该第一电极和第二电极之间的电阻,通过测量第一电极和第二电极之间的电阻,可以得到该压力传感器的输出电压,进而得到该压力传感器的电阻,通过电阻的变化与压力的对应关系得到待测电阻,并且由于本申请压力传感器结构稳定,则该压力传感器可以应用于环境较为恶劣的场合。
搜索关键词: 基于 石墨 薄膜 纳米 压力传感器 系统
【主权项】:
暂无信息
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