[发明专利]导电薄膜多探针测量装置及其测量方法在审
| 申请号： | 202010062468.9 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111077373A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 刘相华;胡振贤 | 申请（专利权）人： | 麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/067;G01R1/073;G01N27/04 |
| 代理公司： | 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 | 代理人： | 赵峰 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种导电薄膜多探针测量装置及其测量方法，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是控制探针力的技术问题。该装置包括测量基座、探头座；所述探头座上设有多根探针，每根探针上都设有弹性加力部件，所述测量基座上设有能上下活动的活动座，并且在测量基座上设有用于驱使活动座向上回位的弹性回位部件，所述探头座固定在活动座上；所述测量基座上设有推杆，及用于驱动推杆上下滑动的推杆驱动部件，推杆的下端抵住活动座，推杆上设有用于检测推杆所承受的竖向压力的压力传感器。本发明提供的装置及方法，适用于测量导电薄膜方块电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 导电 薄膜 探针 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司，未经麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010062468.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
