[发明专利]一种微结构低振荡背部镀膜啁啾镜及其制备方法有效
| 申请号： | 202010064010.7 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111142178B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 王胭脂;张宇晖;陈瑞溢;郭可升;王志皓;朱晔新;晋云霞;易葵;邵建达 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B1/118;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种微结构低振荡背部镀膜啁啾镜，其结构为A/M/G/C，其中A代表空气层，M代表增透微结构，G代表基底，C代表啁啾膜系。所述基底材料的折射率与啁啾膜系中的低折射率材料接近，所述的啁啾介质膜系结构由高低折射率材料交替沉积组成。本发明在基底表面刻蚀增透微结构，降低光损耗，并且结合阻抗匹配原理，将啁啾膜系镀制在基底背面，利用基底的折射率与啁啾膜系中低折射率材料的折射率相接近的性质，降低群延迟色散振荡。从而设计出满足超快激光系统中的用于脉冲压缩展宽的低振荡色散镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微结构 振荡 背部 镀膜 啁啾 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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