[发明专利]用于抽空过程空间的系统和方法有效

专利信息
申请号: 202010065127.7 申请日: 2020-01-20
公开(公告)号: CN111502955B 公开(公告)日: 2023-06-06
发明(设计)人: G.贝米希 申请(专利权)人: 曼恩能源方案有限公司
主分类号: F04B37/14 分类号: F04B37/14;F04B41/06;F04B49/03;F04B49/02;F04B49/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 郭帆扬;金飞
地址: 德国奥*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于抽空过程空间(11)的系统和方法,其中,使用并行运行的两个压缩机(12,13)将过程空间(11)初始抽空至压力极限值,并且其中,在达到或低于压力极限值时,随后使用现在串联运行的两个压缩机(12,13)来抽空过程空间(11)。
搜索关键词: 用于 抽空 过程 空间 系统 方法
【主权项】:
暂无信息
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