[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 202010066964.1 申请日: 2020-01-20
公开(公告)号: CN112447745A 公开(公告)日: 2021-03-05
发明(设计)人: 位田友哉 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: H01L27/11524 分类号: H01L27/11524;H01L27/11529;H01L27/11548;H01L27/11556;H01L27/1157;H01L27/11573;H01L27/11575;H01L27/11582
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 张世俊
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实施方式提供一种能够改善良率的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置包括衬底、第1至第3导电体层、第1半导体层、及第1绝缘体层。衬底SUB包括第1区域MR、第2区域PR、及第3区域BR。多个第1导电体层23于第1区域内相互分离地设于衬底的上方。多个第2导电体层25相互分离地设于最上层的第1导电体层的上方。第1半导体层MP贯通第1及第2导电体层而设置。第3导电体层62于第2区域内设于衬底的上方。第1绝缘体层包括在第2区域内设于第3导电体层的上方且比最上层的第1导电体层更靠上层的第1部分59U,及在第3区域内与衬底的表面接触、且与第1部分连续设置的第2部分59S。第2部分划分第1区域及第2区域。
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【主权项】:
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