[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 202010066964.1 | 申请日: | 2020-01-20 |
公开(公告)号: | CN112447745A | 公开(公告)日: | 2021-03-05 |
发明(设计)人: | 位田友哉 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/11524 | 分类号: | H01L27/11524;H01L27/11529;H01L27/11548;H01L27/11556;H01L27/1157;H01L27/11573;H01L27/11575;H01L27/11582 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 实施方式提供一种能够改善良率的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置包括衬底、第1至第3导电体层、第1半导体层、及第1绝缘体层。衬底SUB包括第1区域MR、第2区域PR、及第3区域BR。多个第1导电体层23于第1区域内相互分离地设于衬底的上方。多个第2导电体层25相互分离地设于最上层的第1导电体层的上方。第1半导体层MP贯通第1及第2导电体层而设置。第3导电体层62于第2区域内设于衬底的上方。第1绝缘体层包括在第2区域内设于第3导电体层的上方且比最上层的第1导电体层更靠上层的第1部分59U,及在第3区域内与衬底的表面接触、且与第1部分连续设置的第2部分59S。第2部分划分第1区域及第2区域。 | ||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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