[发明专利]一种聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法有效
| 申请号： | 202010067583.5 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111266368B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 魏大庆;邹永纯;杜青;郭舒;张宝友;来忠红 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01J37/09 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法，本发明涉及清理透射电子显微镜光阑的方法。本发明要解决现有透射电子显微镜中的光阑污染及堵塞后无法清理的问题。方法：一、透射电子显微镜光阑固定与区域观察；二、透射电子显微镜光阑粗加工；三、透射电子显微镜光阑细加工；四、透射电子显微镜光阑精加工，即完成聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法。本发明适用于清理透射电子显微镜光阑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 离子束 清理 透射 电子显微镜 光阑 方法 | ||
【主权项】：
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