[发明专利]晶圆清洗设备的控制方法、控制装置及晶圆清洗设备

摘要

本发明公开了一种晶圆清洗设备的控制方法、控制装置及晶圆清洗设备，方法包括：根据每个工艺模块和机械手的状态以及工艺制程配方计算出新投入工件至完成整个工艺流程的过程中机械手的各种可行路径；根据机械手每个动作的当前的设定完成时间计算执行每种可行路径的总花费时间，并将总花费时间最短的作为最优路径；采集机械手执行最优路径过程中每个动作本次执行的实际完成时间，判断每个动作的实际完成时间是否满足预设的最大偏移量要求；若一动作的实际完成时间满足最大偏移量要求，则根据该动作的实际完成时间对该动作的设定完成时间进行修正，并以修正后的设定完成时间参与该动作下一次的最优路径计算。有效防止机械手闲置和工件过泡情况。