[发明专利]基于横磁模的硅基窄线宽高功率外腔激光器

摘要

一种基于横磁模的硅基窄线宽高功率外腔激光器，包括反射型半导体光放大器、光斑尺寸转换器、移相器、第一微环滤波器、第二微环滤波器、萨格纳克反射镜和模式转换器，本发明通过两个微环滤波器的游标效应构成滤波结构，可得到宽调谐范围窄线宽激光。利用横磁模在半导体光放大器中线宽增强因子小，在硅波导中传输损耗小，功率上限高的优势，可进一步压缩激光器线宽，提高输出激光功率，同时基于横磁模的硅光无源器件也具有更大的工艺容差。在激光出射端用模式转换器将横磁模转换为横电模，能与其他基于横电模的光信号处理器件相集成。