[发明专利]一种薄膜制备组件、薄膜制备方法及其应用有效
| 申请号： | 202010073147.9 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN113151785B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王衍斌;李朝阳;易泰民;何智兵;黄勇 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜制备组件、薄膜制备方法及其应用。本发明通过由半导体球冠碗形制冷件和热沉单元组成的热传导通道作为控温结构，通过将球冠碗设计为半导体制冷形式，可达到球冠碗内热量快速扩散的目的，确保薄膜的低温生长环境，实现无织构的球形薄膜生产，使得生产的球形薄膜结构致密、各向同性。本发明可应用于激光聚变靶的微纳制备、以及球壳层的元素掺杂等其他加工工艺中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 制备 组件 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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