[发明专利]微机械惯性传感器在审
| 申请号： | 202010073760.0 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111735986A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森;L·特布耶 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02;G01P15/097;G01C21/16;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底；和‑附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量这样构造，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，‑所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量在至少一个第二笛卡尔坐标方向(x、y；z)上具有至少约100g的高g加速度的探测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 惯性 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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