[发明专利]基板处理装置和基板处理方法在审
| 申请号： | 202010075305.4 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111515811A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 柏木诚;保科真穂 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B21/04 | 分类号： | B24B21/04;B24B37/005;B24B37/04;B24B37/10;B24B37/30;B24B47/20;B24B49/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置，能够使基板的中心与处理台的轴心高精度地对准，而防止产生不良基板。基板处理装置具备：偏心检测机构(54)，该偏心检测机构取得定心台(10)所保持的基板(W)的中心相对于定心台(10)的轴心(C1)的偏心量和偏心方向；以及对准器(36、41、75)，该对准器使基板W的中心与处理台(20)的轴心(C2)对准。对准器(36、41、75)在将基板W从定心台(10)交接到处理台(20)之后，使用偏心检测机构(54)而取得基板(W)的中心相对于处理台(20)的轴心(C2)的偏心量和偏心方向，并且该对准器确认所取得的基板(W)的中心相对于处理台(20)的轴心(C2)的偏心量处于规定的允许范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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