[发明专利]薄膜滤波器及其基体、薄膜滤波器及其基体的制造方法、MEMS麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 202010079320.6 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111698623A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 田家裕;吉田诚;蔡劲豪;王进武 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00;B81B7/02;B32B3/26;B32B5/18;B32B7/12;B32B9/00;B32B9/04;B32B15/08;B32B15/088;B32B17/06;B32B27/06;B32B27/28 |
| 代理公司： | 深圳永慧知识产权代理事务所(普通合伙) 44378 | 代理人： | 宋鹰武 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码： | 香港;81 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了薄膜滤波器、薄膜滤波器基体、薄膜滤波器的制造方法、薄膜滤波器基体的制造方法、MEMS麦克风以及MEMS麦克风的制造方法。一种薄膜滤波器，包括：薄膜部分，具有膜表面和布置在膜表面的后侧的后膜表面；多个通孔，形成为从膜表面到后膜表面穿透薄膜部分；以及条状内壁表面。条状内壁表面包括沿着与膜表面相交的相交方向形成的条形部分。条状内壁表面形成在各个通孔内部。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 滤波器 及其 基体 制造 方法 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新科实业有限公司，未经新科实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010079320.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：冷却装置及冷却控制方法
- 下一篇：车架的制造方法
