[发明专利]一种体声波谐振器的顶电极结构及制作工艺

摘要

本发明公开了一种体声波谐振器的顶电极结构及制作工艺，制备设置有空腔的衬底，在衬底上依次制作覆盖空腔的底电极层和压电层；在压电层上制作介质隔离层，使介质隔离层覆盖于压电层顶部的部分上表面；以及在介质隔离层和压电层上制作顶电极层，顶电极层覆盖在介质隔离层上，并且至少有一边延伸到空腔在压电层上的投影区域的边缘。介质隔离层作为增加器件层应力变化时的缓冲，增强机械可靠性，还可以减少射频信号的寄生、反射横波。质量负载层能够在顶电极层的边缘形成声阻抗的突变，增大并联谐振器阻抗，可以大大削弱寄生谐振，减少伪谐振，达到提高Q值的目的。