[发明专利]一种硅片人工检测辅助设备在审

专利信息
申请号: 202010080963.2 申请日: 2020-02-05
公开(公告)号: CN111151467A 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 青田林心半导体科技有限公司
主分类号: B07C5/02 分类号: B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38;G01N21/88;G01N21/13
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 323900 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种硅片人工检测辅助设备,包括支撑板,所述支撑板前端面左右对称固定设有支撑架,左右所述支撑架之间安装有输送带,所述支撑架上安装有动力电机,所述动力电机与所述输送带动力连接,所述输送带皮带表面上固定设有检测箱,所述检测箱中设有前后贯穿的放置腔,所述放置腔中安装有透明的玻璃,使用本发明对硅片进行检测时,本发明可自动将硅片放置于检测位置,并在工人检测完一面后自动将硅片进行翻面,硅片正反面检测结束后,本发明可自动将硅片根据质量等级进行分类储存,从而实现在整个检测过程中,无需人工反转硅片,提高了工作效率。
搜索关键词: 一种 硅片 人工 检测 辅助 设备
【主权项】:
暂无信息
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