[发明专利]一种测量微量元素的X射线检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种测量微量元素的X射线检测装置，包括设置在待测样品同侧的第一X射线源、X射线聚焦镜和第一X射线探测器。还包括预扫描机构，其包括第二X射线源和第二X射线探测器，第二X射线源发出的X射线光斑大，第二X射线探测器接收由第二X射线源激发微量元素发出的X射线荧光。还在待测样品另一侧设置第三X射线探测器，实现透射式X射线测量。还公开一种测量微量元素的X射线检测方法。本发明通过增加预扫描步骤，快速得出微量元素分布图像，再通过智能分析系统，自行确定精确扫描点，然后进行背散射式单点测量，提高效率，实现全自动运行。还通过设置第三X射线探测器，增加透射式测量，由单面测量改为双面测量，大大提高测量效率。