[发明专利]一种基于白光扫描干涉的三维形貌解调方法有效
| 申请号： | 202010089262.5 | 申请日： | 2020-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN111339844B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 桑梅;杜翔宇;王双;董洁;禹敏慧;刘铁根 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于白光扫描干涉的三维形貌解调方法，步骤1、对原始干涉信号进行滤波提取，消除信号中的非线性成分；其中滤波提取采的impCEEMDAN滤波算法；步骤2、对原始干涉信号进行相位峰探测得到相位峰的干涉阶数m |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 白光 扫描 干涉 三维 形貌 解调 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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