[发明专利]一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺在审
| 申请号： | 202010089911.1 | 申请日： | 2020-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN111189438A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;郝飞帆;张瑞 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5726 | 分类号： | G01C19/5726;G01C19/5733 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 刘莹莹 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种光栅面内检测的解耦式全对称微陀螺，包括：键合基板，支撑框架，驱动质量块，检测质量块，中心质量块，驱动组件和检测组件；支撑框架设置在键合基板上，支撑框架内侧面设有驱动座槽和检测座槽，驱动质量块分别设置在驱动座槽内；驱动质量块远离支撑框架中心一侧设置有可动梳齿，驱动座槽内对应可动梳齿的位置设置有固定梳齿，可动梳齿与固定梳齿交叉配合；检测质量块分别设置在检测座槽内，检测质量块上设置有可动光栅；中心质量块设置在支撑框架中心位置，中心质量块通过驱动组件与相邻的检测质量块连接，中心质量块通过检测组件与相邻的驱动质量块连接；键合基板上设置有凹槽，凹槽内两端对应可动光栅的位置对称设置有固定光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 检测 解耦式全 对称 陀螺 | ||
【主权项】：
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