[发明专利]真空设备用小车送料装置有效
| 申请号： | 202010090654.3 | 申请日： | 2020-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN111321386B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 胡方勤;宋振纶;郑必长;杨丽景;张青科;赵国田;旷鑫文;张太鑫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;包头希迪瑞科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 李丽华 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种真空设备用小车送料装置，其包括支架、样品台、承载板及传动机构。样品台可滑动地设置在支架上。承载板固定在样品台的下方，与样品台相配合，以承载样品。传动机构用于带动样品台相对于承载板进行移动，从而驱动样品进行自转。本申请使得样品的多个表面能够同时进行镀膜，且能减少打开真空设备及再次抽真空的时间，有效提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 备用 小车 装置 | ||
【主权项】：
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