[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 202010090860.4 | 申请日： | 2020-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN111277937B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 傅思宇;陆晓龙;刘国安;王宇 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风及其制造方法，能够在背板上覆盖第二隔离层后且在刻蚀第二介质层以形成空腔之前，先刻蚀声孔底部的部分第二隔离层以形成相对凸出的屋檐阻挡部，以在刻蚀第二介质层以形成空腔的过程中，防止背板的声孔侧壁上的第二隔离层被刻蚀掉，从而保证最终形成的MEMS麦克风的背板中的背板材料层被第一隔离层和第二隔离层掩蔽在内，继而在制得的MEMS麦克风产品的后续使用过程中保证背板中的背板材料层与空气隔离，防止发生背板漏电的情况。进一步地，在刻蚀第二介质层以形成空腔的过程中同时刻蚀去除各声孔底部多出来的屋檐阻挡部，以简化工艺过程，并避免额外的屋檐阻挡部去除工艺给器件性能带来不利影响。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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