[发明专利]一种光致电流瞬态谱自动化分析方法与系统在审
| 申请号： | 202010093124.4 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN111257721A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 叶建东;程东;陈选虎;巩贺贺;徐阳;任芳芳;顾书林 | 申请（专利权）人： | 南京大学;南京大学深圳研究院 |
| 主分类号： | G01R31/265 | 分类号： | G01R31/265;G01N21/95 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210093 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 光致电流瞬态谱自动化分析方法，采用波长270nm的激光器，通过斩波器的调制形成100±50HZ的方波激发光源，照射在被测样品表面，通过被测样品材料价带至导带间的光吸收，在导带形成过剩载流子，并在空间电荷区驱动至外部电路，形成光致电流；激发光源为方波形式，即前半周期样品处于光激发状态，而后半周期则无光激发；当在光照激发条件下，光吸收形成的过剩载流子会被半导体样品中的深能级陷阱缺陷俘获；而无光照时，深能级陷阱缺陷将释放出过剩载流子，这些载流子则是无光照条件下形成的过剩载流子，同样也会被外部电路收集形成电流，通过这一电流强度及电流随时间的变化关系，获得深能级缺陷的能级位置及陷阱密度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 致电 瞬态 自动化 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
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