[发明专利]一种石墨烯声表面波滤波器结构及其制备方法有效
申请号: | 202010095465.5 | 申请日: | 2020-02-17 |
公开(公告)号: | CN111262544B | 公开(公告)日: | 2023-09-29 |
发明(设计)人: | 陆增天;毛宏庆;王为标;李壮;孙昭苏;吴庄飞 | 申请(专利权)人: | 无锡市好达电子股份有限公司 |
主分类号: | H03H3/08 | 分类号: | H03H3/08;H03H9/64 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214124 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨烯声表面波滤波器结构及其制备方法,涉及通信设备中的滤波器领域,该结构包括压电基片和位于其上的金属电极层,当金属电极层的电极材料为铝时,金属电极层的上表面覆盖有第二石墨烯介质层、下表面覆盖有第一石墨烯介质层,第一石墨烯介质层位于压电基片和金属电极层之间,当金属电极层的电极材料为铜时,金属电极层的所有侧壁处还覆盖有第三石墨烯介质层;通过将石墨烯包覆在金属电极层的周围,当施加高频信号时,电流集中在表层的石墨烯介质层,其较高的电导率降低了金属电极层带来的热损耗,同时高热导率的石墨烯介质层提升了滤波器的散热能力,起到改善滤波器的功率耐受性的作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 表面波 滤波器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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