[发明专利]一种近场微波显微镜介电常数测量标定的软接触实现方法有效
| 申请号： | 202010095658.0 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111257647B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 彭斌;黄和;曾慧中;张万里;鞠量 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
一种近场微波显微镜介电常数测量标定的软接触实现方法，属于近场微波显微镜的测试领域。采用至少3个已知介电常数的样品进行软接触测试，得到各样品在软接触时的谐振频率，然后通过拟合的方式得到常数A与f |
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| 搜索关键词： | 一种 近场 微波 显微镜 介电常数 测量 标定 接触 实现 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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