[发明专利]超薄光学元件弱变形点胶上盘装置及其方法在审
| 申请号： | 202010095830.2 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111156235A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 谢瑞清;张清华;刘民才;赵世杰;廖德锋;陈贤华;王健;许乔;田亮;王诗原;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | F16B11/00 | 分类号： | F16B11/00;C09J5/06;B24B41/06 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种超薄光学元件弱变形点胶上盘装置及其方法。超薄光学元件弱变形点胶上盘装置，旋转台设置在箱体内部，在旋转台上设置有支撑杆，在支撑杆上设置有背板，在背板上表面设置粘结胶点；在旋转台上设置有多个挡块，挡块的一端与背板侧面贴靠在一起，挡块的另一端与旋转台连接；驱动电机驱动旋转台匀速旋转；在箱体内部设置有散热器、加热器和风机，散热器与制冷机相连。本发明可以实现对超薄光学元件点胶上盘过程温度场的精确控制，防止加热及冷却时背板‑胶点‑元件系统温度不均匀造成的热应力，减轻超薄光学元件下盘后的不规则变形现象，从而提高超薄光学元件的面形加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 光学 元件 变形 上盘 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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