[发明专利]进气组件和扩散设备在审
| 申请号： | 202010096918.6 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111188093A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 王秀鹏;王斯海;刘世强;李冬梅;郑桂林;王亚楠 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（眉山）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 刘迎春 |
| 地址： | 620000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种进气组件和扩散设备。进气组件包括至少两个进气装置，每一个进气装置包括输送管道和调节部件。输送管道的首端位于炉体外部并与气源相连通，输送管道的末端位于炉体内的预定送气位置；调节部件构造为能够独立于其他进气装置直接或间接地调节输送管道内的气体的特定气体参数。其中，各个进气装置的输送管道的末端位置之间存在间隔。本发明的进气组件包括至少两个进气装置，各个进气装置通过相对于彼此独立的进气管道向炉体输送特定气体，且各个进气装置的进气管道在炉体内的预定送气位置不同，使得炉体内的各个位置处的特定气体均匀、稳定，使得生产得到的太阳能电池片具有均匀的方阻。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 扩散 设备 | ||
【主权项】：
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