[发明专利]一种用于铌酸锂基声表面波器件的水冷平台、水冷散热装置及其使用方法有效
| 申请号： | 202010098293.7 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN111432596B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 赵雷;牛鹏飞 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20;B01L3/00 |
| 代理公司： | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人： | 孙秋媛 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了用于铌酸锂基声表面波器件的水冷平台，水冷平台包括由上至下依次设置的上盖板、热电偶支撑层、隔板、散热层和下基板，水冷平台包括设置在中心的聚焦区和设置在聚焦区外围的外围区；热电偶支撑层上设有与聚焦区对应设置的聚焦区热电偶和与外围区对应设置的外围区热电偶，外围区热电偶及聚焦区热电偶通过导线口与外部的控制电路电连接以用于监测聚焦区及外围区的温度；外围区冷液口与聚焦区冷液口与外部的供水装置连接，散热层上设有位于聚焦区的聚焦循环通道和位于外围区的外围循环通道。分别对聚焦区与外围区进行循环冷却，并且其聚焦区循环通路与外围区循环通路相对独立，不会相互影响，有效避免由于铌酸锂去遇见温差大而导致芯片断。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 铌酸锂基声 表面波 器件 水冷 平台 散热 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010098293.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
