[发明专利]一种提拉法生长大尺寸碘化铯晶体的工艺在审
申请号: | 202010099493.4 | 申请日: | 2020-02-18 |
公开(公告)号: | CN111172590A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 张银虎 | 申请(专利权)人: | 北京圣通和晶科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/12 | 分类号: | C30B29/12;C30B15/00 |
代理公司: | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人: | 王振佳 |
地址: | 100194 北京市海淀区凤凰岭路铁路桥*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种提拉法生长大尺寸碘化铯晶体的工艺,包括以下步骤:装炉、下籽晶、缩颈、放肩、等径生长,放肩阶段的降温速率是2‑4℃/30min,持续时间控制在30‑40分钟,不断调节加热功率,保持不变,在转速和拉速不变情况下,采用2‑4℃/2h的低降温速率降温;晶体生长到预定长度后即可收尾,通常是快速将晶体升起直至与熔体完全分离,再采用缓慢降温的方法以消除高温生长时在晶体中形成的应力,当工作电压下降至50V时即可关闭电源,待炉温达到室温后关闭循环冷却水。本发明采用上述一种一种提拉法生长大尺寸碘化铯晶体的工艺,使用碘化铯代替碘化钠,且通过提拉法生长,提高了探测器的抗冲击性能,同时节省了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 提拉法 生长 尺寸 碘化 晶体 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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