[发明专利]一种激光后向反射器阵列相位精密调整机构及其检测、调整方法有效
| 申请号： | 202010100378.4 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN111258079B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 余焘;李新阳;李枫;耿超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B27/42 | 分类号： | G02B27/42;G02B7/182;G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光后向反射器阵列相位精密调整机构及其检测、调整方法，该激光后向反射器阵列相位精密调整机构，包括反射器单元、阵列体、驱动机构；所述反射器单元用于安装单个激光后向反射器，所述阵列体用于组合多个反射器单元，所述驱动机构用于驱动单个反射器单元的位移。该检测、调整方法包括：利用沿直线依次设置的激光光源、分光镜、透镜、激光后向反射器阵列相位精密调整机构，分光镜反射光路设置的光探测器，检测反射光束远场光斑图像，对反射器单元进行调整。本发明实现了激光后向反射器阵列活塞相位误差的矫正，提高了激光后向反射器阵列反射光束远场衍射峰值能量，扩展了激光后向反射器阵列使用场景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 反射 阵列 相位 精密 调整 机构 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
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