[发明专利]一种光纤气体压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010101071.6 | 申请日： | 2020-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN111272330B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 魏翔宇;冉玲苓;杨九如;宋小康;沈中辉;李唱;侯靓涛;李昭军 | 申请（专利权）人： | 黑龙江大学 |
| 主分类号： | G01L11/02 | 分类号： | G01L11/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210 | 代理人： | 何强 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种光纤气体压力传感器及其制备方法，涉及一种气体压力传感器及其制备方法。本发明解决了现有FPI光纤气体传感器封堵用薄膜制备方法较难、结构强度弱，以及光纤自身以及封堵用薄膜材料都具有热光系数和热膨胀系数存在温度串扰的问题。光纤气体压力传感器为FPI光纤气体传感器；所述光纤气体压力传感器由空芯光纤、单模光纤和薄膜构成，其中空芯光纤一端与单模光纤熔接，空芯光纤另一端用薄膜封堵；所述薄膜为聚二甲基硅氧烷薄膜。制备方法：一、制备初结构；二、蘸取PDMS液体；三、调节薄膜厚度；四、固化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 气体 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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