[发明专利]ALD硅片上下料装置

摘要

本发明公开了ALD硅片上下料装置，涉及硅片搬运技术领域。包括至少四个花篮上下料运输线，每两个花篮上下料运输线对应一个舟输送平台，舟输送平台和花篮上下料运输线之间通过硅片夹爪搬运硅片，舟输送平台与水平面存有夹角，夹角介于10°与35°之间，ALD硅片上下料装置还包括舟缓存平台和搬舟机械手，搬舟机械手被配置于从ALD主机内搬出处理过的花篮和/或将未处理的花篮搬入ALD主机内，舟输送平台对接舟缓存平台。通过具有倾斜角度的舟输送平台，使得小舟在舟输送平台上的时候小舟能够倾斜一定的角度，从而使得硅片在小舟内能够通过自身重力统一倾斜于小舟的一侧，进而使得硅片能够更容易的被硅片夹爪进行获取。