[发明专利]一种单元标记及其设计方法有效

专利信息
申请号: 202010104156.X 申请日: 2020-02-20
公开(公告)号: CN111290224B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 范元骏 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G03F9/00 分类号: G03F9/00;G03F1/42;G03F1/44
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种单元标记及其设计方法,提供设计在版图上的标记实心结构,将标记实心结构内挖空形成标记外框;在标记外框内填充与该标记外框边界衔接的等间隔排列的若干条形结构,形成标记,若干条形结构彼此宽度相等;沿标记外框的边向其内部缩小0.6微米;在版图上复制多个缩小后的标记,并将多个缩小后的标记进行拼接,其中相邻的标记外框的拼接处的宽度为0.6微米。由于自对准双重图形工艺做不出来尺寸较大的条形结构和间距,因此本发明对原有单元标记进行分割处理,来达到测量或者对准的目的。
搜索关键词: 一种 单元 标记 及其 设计 方法
【主权项】:
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