[发明专利]一种中红外双波段带通滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 202010104444.5 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111175874B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 岳威;张阔;刘连泽;韩永昶 | 申请（专利权）人： | 北京华北莱茵光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;C23C14/54;C23C14/32;C23C14/16;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京天江律师事务所 11537 | 代理人： | 任崇 |
| 地址： | 100020 北京市朝*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种中红外双波段带通滤光片及其制备方法，一种中红外双波段带通滤光片，包括基底和形成在基底两侧表面上的带通滤光膜、负滤光膜；该滤光片的膜系结构为：8^(LH)9^(HL)|Si|(LH)^9(HL)^3H；其中，Sub为基底，L为SiO膜层，H为Ge膜层。一种中红外双波段带通滤光片的制备方法，包括以下步骤：在基底上单面镀制带通滤光膜；在基底另一面镀制负滤光膜。本发明主要针对3μm～5μm中红外波段提供一种3.7－4.1μm以及4.55－4.8μm双波段带通滤波同时抑制4.26μm附近干扰能量的介质薄膜涂层，其本身具有高透射率、双波段带通、可靠性好，环境适应性强的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 波段 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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