[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010106129.6 | 申请日: | 2020-02-21 |
公开(公告)号: | CN112510092A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 雁木比吕 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/423 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 金春实 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的实施方式涉及半导体装置。提供能够降低导通电阻的半导体装置。实施方式的半导体装置具备:半导体层;栅电极,位于第1沟槽中;场板电极;金属区域,位于第2沟槽中,与第2半导体区域电连接;栅极绝缘层,位于栅电极与半导体层之间;场板绝缘层,位于场板电极与半导体层之间;第1电极,与第3半导体区域及金属区域电连接;以及第2电极,该半导体层具有:第1沟槽;第2沟槽,与第1沟槽交叉;第1导电类型的第1半导体区域;第2导电类型的第2半导体区域;以及第1导电类型的第3半导体区域。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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