[发明专利]一种光电监测系统在审
| 申请号： | 202010107741.5 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN113295272A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 刘宇;孙文惠;孙甲政;袁海庆;白金花;王欣;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01M11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开实施方式公开了一种光电监测系统，所述系统包括：光波导芯片以及键合到所述光波导芯片上的探测器芯片；所述光波导芯片的合波处开设有窗口，所述窗口的尺寸与所述探测器芯片的有源区尺寸相匹配，所述有源区用于接收从所述窗口射出的光信号，以对所述光波导芯片的光功率进行监测。本公开提供的光电监测系统无需对波导进行分光操作，从而在不衰减波导传输光功率的基础上，实现实时在线监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光电 监测 系统 | ||
【主权项】：
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