[发明专利]VCM弹片的高效制备方法在审
| 申请号： | 202010110553.8 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111090222A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 周武;吴辉旺 | 申请（专利权）人： | 昆山弗莱吉电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;G03F1/00;H02K15/00 |
| 代理公司： | 苏州汉东知识产权代理有限公司 32422 | 代理人： | 刘艳芬 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种VCM弹片的高效制备方法，采用光化学蚀刻技术和喷淋蚀刻机，在经过清洗干燥的基板上掩膜，蚀刻后再进行脱膜和后续处理，所述掩膜操作中，在基板的上表面涂覆光刻胶，采用接触式曝光法，在光刻胶上贴附与VCM弹片对应图案的掩膜版，然后进行曝光处理，曝光后将掩膜版去掉，清除所述基板上表面未固化的光刻胶，烘干，然后将基板从下表面加热，使基板上表面温度升至光刻胶的玻璃化转变温度，并保持数秒，然后立刻冷却，冷却后的基板下表面贴附保护膜，随后进行蚀刻；本发明缩短了烘干时间，光刻胶形成的保护层具有较好的抗蚀性和保护能力，减少了蚀刻液的消耗量，节能环保，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | vcm 弹片 高效 制备 方法 | ||
【主权项】：
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