[发明专利]一种砷化镓器件金属保护环在审
| 申请号： | 202010110737.4 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111162058A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 沈留明;程岸;王彦硕;汪耀祖 | 申请（专利权）人： | 杭州立昂东芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/60 | 分类号： | H01L23/60 |
| 代理公司： | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人： | 郭锦春 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种砷化镓器件金属保护环。本发明砷化镓器件金属保护环围绕管芯设置并包括至少三层金属层，第一层金属层设置在衬底上，第二层以上金属层包括连接在一起的连续部和断开部，连续部围绕管芯，连续部的上方和上一层金属层连接，断开部分段设置，断开部下方和下一层金属层连接，第二层以上相邻两层金属层的断开部互相错开设置，金属保护环两侧及相邻的两个断开部之间为介电材料。本发明使得第二、第三层金属层之间不容易残留BCB有机介电材料，提高了器件可靠性。由于金属层连续部和断开部形成类似桥墩型结构，使得器件在保护环处更加稳定，提供器件良率，也使得电镀金使用量减少，降低了成本，本发明设计巧妙，加工方便，具有极好的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 器件 金属 保护环 | ||
【主权项】：
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