[发明专利]一种可分区控制进气流量及比例的PECVD匀气装置

摘要

本发明涉及一种可分区控制进气流量及比例的PECVD匀气装置，包括上层进气圆盘、中层匀气圆盘、下层匀气圆盘，其中：三个圆盘依次上、中、下相叠，上层进气圆盘与下层匀气圆盘的接触面之间具有凸墙‑凹槽配合连接结构，上层进气圆盘与下层匀气圆盘的接触面之间通过螺丝与螺孔配合固定连接；三个圆盘均分中心环、次内环、外环三圈，三个圆盘上中心环轴向形成的区域为中心匀气，三个圆盘上次内环轴向形成的区域为中间匀气，三个圆盘上外环轴向形成的区域为边缘匀气，中心匀气、中间匀气以及边缘匀气均同轴；本发明将匀气装置分为三个独立进气的区域即中心匀气、中间匀气、边缘匀气，通过调节每个进气区域的进气量以及进气比例来获得更为均匀的薄膜。