[发明专利]清洁装置及清洁方法有效
| 申请号： | 202010112641.1 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN113289936B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 陈步祥 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体领域，公开了一种清洁装置及清洁方法。其中，清洁装置，包括：用于沿预设方向支撑待清洁物体的承载机构，用于对所述待清洁物体进行清洁的清洁机构，所述清洁机构包括基座和可拆卸设置在所述基座上的第一清洁件；所述第一清洁件包括用于与所述基座可拆卸连接的壳体以及设置在所述壳体上的第一刷头部，所述壳体和所述第一刷头部围绕形成收容空间；所述基座上还设置有第二清洁件，所述第二清洁件容置在所述收容空间内。与现有技术相比，本发明实施方式所提供的清洁装置及清洁方法，具有无需重新安装清洁件，保证产能不受影响的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
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