[发明专利]一种提高金刚石对顶压砧压力极限的方法

摘要

本发明公开了一种提高金刚石对顶压砧压力极限的方法，涉及高压装置技术领域，具体地涉及一种金刚石对顶压砧。本发明通过在传统单晶金刚石高压压砧工作面生长周期性掺氮与不掺氮交替多层单晶金刚石，来提高金刚石压砧的韧性和硬度，从而提高压砧的使用压力极限。该多层化压砧主要包括基体、周期性掺氮和不掺氮单晶金刚石多层膜。基体是原始单晶金刚石压砧，周期性多层膜的单层厚度为10‑2000nm。所述方法采用化学气相沉积(CVD)法周期性地通入氮气，通过交替掺杂与非掺杂层金刚石的生长，获得多层界面结构，实现压砧的增强增韧。本发明提供的压砧与单纯采用单晶金刚石的压砧相比，具有韧性高、使用压力极限显著提高等优点。