[发明专利]一种沉浸式金刚线切割晶硅及冷却润滑的方法在审
| 申请号： | 202010115991.3 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111186041A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 仇健;张善保;葛任鹏 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11624 | 代理人： | 郭智 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种沉浸式金刚线切割晶硅及冷却润滑的方法，属于晶硅加工领域，金刚线沉浸在切削液中切割晶硅，切削液进入切割区，对切割区进行冷却和润滑，切削液浸满沉浸槽，金刚线贯穿沉浸槽并沉浸在切削液中对晶硅进行切割，切削液带入切割区，切割区带出的切屑由沉浸槽下方的泄流口排出，所述沉浸槽设置于金刚线网下方，其包括侧壁和与侧壁相连接的槽底，所述侧壁和槽底围成容纳切削液的空间，金刚线对应的侧壁上部设置有供金刚线贯穿的线槽，使用该方法切割的晶硅表面粗糙度质量更好，尤其在高进给速率等高生产率下，表面粗糙度更好，显著提高晶硅产品的质量，成本低廉、构思巧妙，应用前景广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉浸 金刚 切割 冷却 润滑 方法 | ||
【主权项】：
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